氣體微流量規範設備時期核對辦法

時間:2015-12-10 作者:/

     气体微流量规范是校准气体微流量的一种设备,是真空计量的根底规范之一,用于参阅漏孔及气体微流量计的校准。对气体微流量规范设备选用多台平均值法进行时期核对。多台平均值法选用3 台或3 台以上平等水平的测量规范,对同一被测量或被测测量用具进行测量,多台测量成果的平均值yi 与核对的测量规范观测值y 之差的值,应满意式(2)
气体微流量规范设备平均值核算式
式中yi 爲多台測量規範校准成果的均勻值;n爲測量規範的數量。
作者實驗室已樹立的氣體微流量規範設備有恒壓式氣體微流量規範設備2台,定容式氣體微流量規範設備1 台,恒壓/定容式氣體微流量規範設備1台。對其間1 台恒壓式氣體微流量規範設備進行時期核對,選用別的3台流量計作爲核對規範;傳遞規範選用我國計量院出産的薄膜滲氦型真空漏孔,其標稱漏率值爲1.34×10-8Pa·m3/s。 在每台規範設備上對傳遞規範漏孔均校准6次,並計算出均勻漏率值,溫度爲23℃。校准數據見表3。表3氣體微流量規範設備漏率校准值
气体微流量规范设备漏率校准值
表3中,3台核對規範的漏率值分別爲1.33×10-8 Pa·m3/s 、1.39×10-8 Pa·m3/s 和1.34×10-8 Pa·m3/s,平均值爲1.35×10-8 Pa·m3/s,被核對規範的漏值爲1.28×10-8 Pa·m3/s,依據式(2)核算二者的誤差爲5.2%。恒壓式氣體微流量規範設備的拓展不確定爲10%,代入式(2)得8.2%。
二者的誤差5.2%,小于8.2%,則恒壓式氣體微流量規範設備技能狀況正常。
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